微型真空泵的基本原理：電機(jī)的圓周運(yùn)動，通過機(jī)械裝置使泵內(nèi)部的隔膜做往復(fù)式運(yùn)動，從而對固定容積的泵腔內(nèi)的空氣進(jìn)行壓縮、拉伸形成真空（負(fù)壓），在泵抽氣口處與外界大氣壓產(chǎn)生壓力差，在壓力差的作用下，將氣體壓（吸）入泵腔，再從排氣口排出。

將一個密閉容器（開始時，內(nèi)部是常壓100KPa），接上微型真空泵，對它進(jìn)行持續(xù)抽氣，最后密閉容器內(nèi)的氣體壓力就會低于大氣壓，達(dá)到60KPa的絕對壓力。不但如此，經(jīng)過特殊的技術(shù)改進(jìn)，除了單抽氣的微型真空泵外，還可以形成抽氣打氣兩用的微型真空泵(即排氣端可以產(chǎn)生比較大的正壓)，用于增壓、充氣、克服系統(tǒng)阻力等等以及非常獨(dú)特的水氣兩用微型真空泵，它可以用于需要長期空轉(zhuǎn)、干轉(zhuǎn)等等場合，不像一般的水泵空轉(zhuǎn)，或者干轉(zhuǎn)就會損壞泵。

正因?yàn)槌闅饪谔幓蛘叱榕艢饪诳梢耘c外界大氣形成壓力差，同時不像大型真空泵需要潤滑油和真空泵油，不會污染工作介質(zhì)，而且具有體積小巧、噪音低、免維護(hù)，可以連續(xù)24小時運(yùn)轉(zhuǎn)等優(yōu)點(diǎn)，所以微型真空泵被作為動力裝置，廣泛用于氣體采樣、氣體循環(huán)、真空吸附、加速過濾、汽車真空助力等等場合，在醫(yī)療、衛(wèi)生、科研、環(huán)保等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。